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【新品速遞】ABLS-300氣浮平臺
- 分類：公司新聞
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2020-06-24 15:57
- 訪問量：
【概要描述】氣浮平臺超精密機械中的一種典型結構，通過靜壓氣浮隔離機械運動副之間的接觸，提高平臺機構運動精度，具有非常優秀的平面度、直線度...
【新品速遞】ABLS-300氣浮平臺
【概要描述】氣浮平臺超精密機械中的一種典型結構，通過靜壓氣浮隔離機械運動副之間的接觸，提高平臺機構運動精度，具有非常優秀的平面度、直線度...
- 分類：公司新聞
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2020-06-24 15:57
- 訪問量：
氣浮平臺超精密機械中的一種典型結構，通過靜壓氣浮隔離機械運動副之間的接觸，提高平臺機構運動精度，具有非常優秀的平面度、直線度，克服了傳統機械定位臺行程短，響應滯后大，摩擦阻力等不足。具有非常優秀的動態性能及極低的誤差水平。
產品介紹
三英精控憑借多年的精密機械加工及裝配經驗，采用最優參數及合理的精度分配，掌握了氣浮平臺從設計到制造的全套技術，成功設計研發出多款氣浮平臺。ABLS-300氣浮平臺實現了長行程高精度與高速定位功能，在半導體光刻設備，精密測量和生物醫學等領域中具有不可替代的作用。
應用領域
精密加工
精密測量
微電子制造業
光刻機平臺
半導體加工業
掃描
產品特性
◆ 重復定位精度高
◆ 俯仰偏擺角度小
◆ 性能穩定
◆ 沒有機械損耗
◆ “零”摩擦可使其進入納米級應用
◆ 運動臺與導軌使用同種材料，在溫度變化較大的工況下不會出現氣浮臺常見的“抱死”現象。
技術參數
|
名稱 |
ABLS-300氣浮平臺 |
|
行程 |
300mm |
|
驅動方式 |
直線電機 |
|
電機連續/峰值推力 |
100N/400N |
|
反饋方式 |
光柵反饋系統 |
|
反饋系統分辨率 |
25nm |
|
最大速度 |
700mm/s |
|
最大加速度（空載） |
1g（無負載） |
|
最大負載 |
25kg |
|
精度 |
±1μm |
|
重復定位精度 |
±0.2μm |
|
直線度 |
±0.5μm |
|
平坦度 |
±0.5μm |
|
動態平坦度 |
±0.5μm |
|
偏擺 |
3 arc-sec
|
|
俯仰 |
3 arc-sec |
|
工作壓力 |
4±0.3bar |
三英精控ABLS-300氣浮平臺將首次亮相于7月3至5日在國家會展中心舉行的慕尼黑上海光博會。真摯的期待您和同事及行業友人共同參與，在展會現場與三英精控面對面共話行業熱點。
三英精控展位號：7.1A327
掃二維碼用手機看
【新品速遞】ABLS-300氣浮平臺
- 分類：公司新聞
- 作者：
- 來源：
- 發布時間：2020-06-24 15:57
- 訪問量：
【概要描述】氣浮平臺超精密機械中的一種典型結構，通過靜壓氣浮隔離機械運動副之間的接觸，提高平臺機構運動精度，具有非常優秀的平面度、直線度...
【新品速遞】ABLS-300氣浮平臺
【概要描述】氣浮平臺超精密機械中的一種典型結構，通過靜壓氣浮隔離機械運動副之間的接觸，提高平臺機構運動精度，具有非常優秀的平面度、直線度...
- 分類：公司新聞
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- 發布時間：2020-06-24 15:57
- 訪問量：
氣浮平臺超精密機械中的一種典型結構，通過靜壓氣浮隔離機械運動副之間的接觸，提高平臺機構運動精度，具有非常優秀的平面度、直線度，克服了傳統機械定位臺行程短，響應滯后大，摩擦阻力等不足。具有非常優秀的動態性能及極低的誤差水平。
產品介紹
三英精控憑借多年的精密機械加工及裝配經驗，采用最優參數及合理的精度分配，掌握了氣浮平臺從設計到制造的全套技術，成功設計研發出多款氣浮平臺。ABLS-300氣浮平臺實現了長行程高精度與高速定位功能，在半導體光刻設備，精密測量和生物醫學等領域中具有不可替代的作用。
應用領域
精密加工
精密測量
微電子制造業
光刻機平臺
半導體加工業
掃描
產品特性
◆ 重復定位精度高
◆ 俯仰偏擺角度小
◆ 性能穩定
◆ 沒有機械損耗
◆ “零”摩擦可使其進入納米級應用
◆ 運動臺與導軌使用同種材料，在溫度變化較大的工況下不會出現氣浮臺常見的“抱死”現象。
技術參數
|
名稱 |
ABLS-300氣浮平臺 |
|
行程 |
300mm |
|
驅動方式 |
直線電機 |
|
電機連續/峰值推力 |
100N/400N |
|
反饋方式 |
光柵反饋系統 |
|
反饋系統分辨率 |
25nm |
|
最大速度 |
700mm/s |
|
最大加速度（空載） |
1g（無負載） |
|
最大負載 |
25kg |
|
精度 |
±1μm |
|
重復定位精度 |
±0.2μm |
|
直線度 |
±0.5μm |
|
平坦度 |
±0.5μm |
|
動態平坦度 |
±0.5μm |
|
偏擺 |
3 arc-sec
|
|
俯仰 |
3 arc-sec |
|
工作壓力 |
4±0.3bar |
三英精控ABLS-300氣浮平臺將首次亮相于7月3至5日在國家會展中心舉行的慕尼黑上海光博會。真摯的期待您和同事及行業友人共同參與，在展會現場與三英精控面對面共話行業熱點。
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三英精控（天津）儀器設備有限公司是一家專注于精密運動控制技術和產品的開發，并致力于為科學研究、創新研發及高端儀器、設備的制造等提供系統的技術解決方案與集成，滿足市場對精密運動控制技術需求的專業制造商。
總部地址：天津市武清開發區福源道北側創業總部基地C21號樓
上海辦公室：上海市浦東新區高科東路777弄11號1603室
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